产品特点

　　在百年未有之大变局下，世界正处于技术突破、经济复苏的关键时刻。人工智能引领的第四次工业浪潮，加速了全球产业分工格局的剧烈调整，以信息技术、生物技术和新能源技术为代表的全新技术和知识经济、智能经济的完善，开启了文明转型的内生需求。科技创新、产业焕新、城市更新，都离不开技术的牵引和金融系统化支撑。

　　5月18日，在湖州产业生态合作促进活动上，北方华创副总经理文东以《半导体装备产业形势分析》为题，深入剖析了半导体产业形势和装备产业所面临的挑战与机遇。文东表示，半导体产业是数字经济的基石，作为全球最大的电子产品生产国，中国半导体占据全球约三分之一的市场，半导体产业已成为中国构建战略科技力量自立自强的核心支撑产业。

　　“今天，芯片制造技术正在向先进工艺、特色工艺、先进封装及三维集成三个维度发展，同时人工智能、大数据等应用市场爆发也为产业发展带来了广阔的空间和机会。”

　　文东直言，装备是推动半导体技术进步的基石，一代技术依赖一代工艺，一代工艺依赖一代装备，尤其在向先进工艺推动过程中，更是对半导体装备的研发和进步提出了挑战。

　　以下为北方华创副总经理文东以《半导体装备产业形势》分析为题的主旨演讲，由融中财经整理，以飨读者。

　　洪市长、湖州的各位领导、各位产业界、投资界的朋友，大家下午好，我是北方华创文东，北方华创作为半导体装备为主业的企业，在数字经济、创新方面都有很多实践。今天，我想利用这个机会，为大家分享一下半导体装备的产业形势。

　　近年来，我们在推进国产化的过程中越来越多地感觉到，半导体装备和材料是重中之重，半导体装备在支撑整个产业发展方面非常重要。

　　从国际产业局势上看，目前，美国半导体产业链相对比较完整，日本在设备零部件和材料方面有优势，我国地区在先进制程的代工方面有优势，而韩国比较侧重于存储器，另外欧洲在化合物半导体方面能力较强。从中国半导体产业发展看，我们在芯片、存储器、化合物半导体等方面全面追赶。

　　作为产业人，对我国半导体以及全球半导体产业的长期发展仍然非常有信心，从目前看，半导体未来的增长动力，应该取决于人工智能推动的超算和移动汽车等几个行业。在这个过程当中我们也面临着技术等多个层面的创新挑战。

　　目前，国内半导体不遗余力地推进先进制程，虽然现在和台积电、三星仍有一定的技术的差异，但是我们还在不断地追赶中。近几年的话，随着人工智能推动，三维封装，chiplet相关技术成为新的发展方向，我们也在快速跟进新技术。

　　我认为非常重要的一点在于，在芯片制造过程当中，从晶体管的数量到整个芯片的互联以及工艺步骤，是一个系统工程，每一步的良率都会影响到整个芯片的良率，这使得装备产业基因上就是一个非常大规模的系统工程。我们要加工的尺寸、处理的材料已经接近物理的极限，但仍然进一步地增加难度，所以装备的研发相对来说要难一些。

　　在装备行业，我们有一个说法叫“一代工艺依赖一代装备”，是因为装备从12英寸的90纳米平面，一直延伸到28纳米，这涉及到摩尔定律，不论是从技术的角度还是从商业的角度，在这个过程中新的结构材料引入，主要还是靠设备在推进。

　　另外到20纳米、28纳米之下，14纳米逐渐引入了新的结构，我们经常提及的EUV所推进的三维的三极管，以及3纳米往后还在推进GAA这样环栅结构。结构、材料实现过程中，重点依赖的都是半导体的装备。所以实现一个芯片的结构，主要处理的是材料和结构，而这两个都直接与半导体装备有关。

　　未来的发展上，我们从应用的角度而言，整个芯片的器件从逻辑结构的缩微到存储器，不论是DRAM还是NAND，均向三维甚至是更多层结构发展，在新的器件结构里引入新的元素，包括二维材料、集成方式的变化，这些仍然是产业界所要面临的挑战。在这个过程里，半导体装备依然需要面对结构、材料以及设备的稳定性，以及量产等重大技术挑战。

　　为了应对这些挑战，半导体装备的国产化发展，应该是一种集成性的设备协力发展。比如，我们的核心的零部件供应厂商，很大程度上影响装备整体的能力。所以在未来的技术推进中，产业链的上下游、核心零部件、产教融合研究机构，需要一起努力、协同发展。

　　我国产业目前在稳步地推进这一目标，国产化替代并非告一段落，因为技术本身是一个迭代的过程。另外，我想简单提一下我们装备行业一个非常显著的特点——集中性。

　　半导体装备是一个集中性非常强的行业，因为行业的研发投入是一个巨量数字，美国的应用材料公司每年研发投入占营收比重非常大。而且，企业还需要做样机、做验证机，有了产品还只是万里长征的第一步，后续的验证过程中还需要巨额投入。

　　近几年，很多友商一起推动了国内半导体装备的国产化进展，但是未来我们还是应该更加聚焦在一些平台上，这样对整个产业的进步都更有利。

　　目前，我国市场消耗了全球半导体相关产品的30%，包括DRAM、NAND。另外还有一些应用、功率器件等。近六七年，我们国内的半导体装备市场比例增长到25%—26%。

　　北方华创去年实现营业总收入220.79亿元，同比增长50.32%。目前我们有几千人投入到半导体装备的研发中去，不断推动产品性能的提升。从国内主要的半导体设备厂商来看，北方华创应该是国内规模及平台布局是最大的，基本上可以覆盖几家友商营收。另外在2023年根据Gartner统计，我们的集成电路工艺设备首次进入了全球的前十。

　　从产品布局上看，在几个大的半导体的细分赛道上，北方华创基本上都已形成了平台化的产品，集成电路、先进封装、功率半导体等大部分的工艺设备我们都可以提供。

　　未来，北方华创将不断学习，向美国的应用材料学习。我们研究美国应用材料的发展史，从技术提升到外延的整合是一个系统性的工程，所以北方华创在进入到下一个发展阶段时，也会向应用材料学习，推进下一个阶段的发展。为此北方华创设立了一家CVC，围绕华创装备的产业生态去投资，基本上不会去做盲投。同时基金的存续比较长，我们希望能够围绕半导体装备的上下游、零部件、新材料，还有未来的新技术进行投资，并推动北方华创半导体装备大平台不断发展。